Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.85/А 16 Автор(ы) : Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Заглавие : Физические основы электронной и ионной технологии : Учебное пособие для вузов Выходные данные : М.: Высш. школа, 1984 Колич.характеристики :320 с. Цена : 35.00, 35.00, р. ББК : 32.85 Предметные рубрики: Электроника-- прибор Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электрон--учебное пособие--технология электронная--технология ионная--ион--монокристалл--проводник--заряд--носитель--облучение--оборудование--имплантация--микросхема--автоматизация--эвм--асуп--излучение--импульс Экземпляры : всего : аб(3) Свободны : аб(3) Соавторы: Андронов, А.Н.; Титов, А.И.