Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844.1/Ч-68 Автор(ы) : Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П. Заглавие : Физико-химические основы технологии микроэлектроники : Учебное пособие для вузов Выходные данные : М.: Металлургия, 1979 Колич.характеристики :408 с. Цена : 35.00, 35.00, р. ББК : 32.844.1 Предметные рубрики: Электроника-- микроэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--учебное пособие--прибор--полупроводник--эпитаксия--техника электронная--радиотехника--пленка тонкая--микросхема--объем памяти--фотолитография--автоэпитаксия кремния--испарение--травление--процесс легирования Экземпляры :аб(1) Свободны : аб(1) Соавторы: Райнова, Ю.П.