Вид документа : Продолжающееся издание Шифр издания : 620.197/П38 Автор(ы) : Плешивцев Н.В. Заглавие : Катодное распыление Выходные данные : М.: Атомиздат, 1968 Колич.характеристики :347с. Цена : 1.00, 1.00, р. Предметные рубрики: Металлургия-- защита металлов Книги в дар Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): защита--катодное распыление--монокристалл--микроскоп--давление--анализатор--распыление--реакция--пленка--атом--металл--напыление--техника напыления--скорость--травление--полупроводник--прибор--обработка Экземпляры :чзт(1) Свободны : чзт(1)