Вид документа : Продолжающееся издание Шифр издания : 32.85/М80 Автор(ы) : Моро У., Моро У. Заглавие : Микролитография: В 2 ч.: Принципы, методы, материалы/ Пер. с англ. Р.Х .Тимерова. Микролитография: В 2 ч. Выходные данные : М.: Мир, 1990 Колич.характеристики :632с.: ил. ISBN, Цена 5030017178: 50.00, 50.00, р. ББК : 32.85 Предметные рубрики: Электроника-- основы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микролитография--полупроводник--резистор--проявление--задубливание--травление--литография--прибор--оборудование--удаление Экземпляры :аб(1) Свободны : аб(1)