Сайт ИнЕУ Упрощенный режим О Библиотеке Руководство пользователя
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Книжный фонд
Статьи
Электронные библиотеки
Периодические издания
Магистерские диссертации
Полнотекстовые электронные издания
Сайты журналов
Труды ученых ИнЕУ
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Книжный фонд (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>K=система сканирования<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.
   32.84
   О-22

    Симонов, В. В.
    Оборудование ионной имплантации [Текст] / В.В. Симонов, Л.А. Корнилов, А.В. Шашелев и др. - М. : Радио и связь, 1988. - 184с. - 20.00 р.
ББК 32.84
Рубрики: Радиотехника--приборы
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- полупроводник -- имплантация -- ионный источник -- заряд -- пучок -- магнит -- линза -- оптика -- масс-сепаратор -- система сканирования -- приемник -- вакуум -- система автоматизированного управления -- оборудование -- транзистор



Соавторы:
Корнилов, Л.А.; Шашелев, А.В.; Шокин, Е.В.
Экз-ры: аб(2)

” Цитировать
Найти похожие
 
Стандартный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)