Сайт ИнЕУ Упрощенный режим О Библиотеке Руководство пользователя
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Книжный фонд
Статьи
Электронные библиотеки
Периодические издания
Магистерские диссертации
Полнотекстовые электронные издания
Сайты журналов
Труды ученых ИнЕУ
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Книжный фонд (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>A=Киреев, В. Ю.$<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.
   32.844
   К 43

    Киреев, В. Ю.
    Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Текст] / В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 128 с. - 30.00 р.
ББК 32.844
Рубрики: Радиоэлектроника--радиоаппаратура
Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектроника -- микросхема -- микроструктура -- плазма -- вакуумно-плазменный -- травление -- хладон -- электрон -- полупроводник -- источник -- питание -- изображение -- сканирование -- модуль -- радиоаппаратура -- микроэлектроника -- распыление -- обработка -- ионизация



Соавторы:
Данилин, Б.С.; Кузнецов, В.И.
Экз-ры: аб(1)

” Цитировать
Найти похожие
 
Стандартный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)