Сайт ИнЕУ Упрощенный режим О Библиотеке Руководство пользователя
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


Книжный фонд - результаты поиска

Вид поиска
Книжный фонд
Статьи
Электронные библиотеки
Периодические издания
Магистерские диссертации
Полнотекстовые электронные издания
Сайты журналов
Труды ученых ИнЕУ
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>K=процесс легирования<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.
   32.844.1
   Ч-68

    Чистяков, Ю. Д.
    Физико-химические основы технологии микроэлектроники [Текст] : учебное пособие для вузов / Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П. - М. : Металлургия, 1979. - 408 с. - 35.00 р.
ББК 32.844.1
Рубрики: Электроника--микроэлектроника
Кл.слова (ненормированные):
Физико-химические основы технологии микроэлектроники -- эпитаксия -- техника электронная -- радиотехника -- микросхема -- объем памяти -- фотолитография -- автоэпитаксия кремния -- испарение -- травление -- процесс легирования



Соавторы:
Райнова, Ю.П.
Экз-ры: аб(1)

” Цитировать
Найти похожие
 
Стандартный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)