Сайт ИнЕУ Упрощенный режим О Библиотеке Руководство пользователя
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


Книжный фонд - результаты поиска

Вид поиска
Книжный фонд
Статьи
Электронные библиотеки
Периодические издания
Магистерские диссертации
Полнотекстовые электронные издания
Сайты журналов
Труды ученых ИнЕУ
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: <.>K=ЭПИТАКСИЯ<.>
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
   32.844.1
   Ч-68

    Чистяков, Ю. Д.
    Физико-химические основы технологии микроэлектроники [Текст] : учебное пособие для вузов / Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П. - М. : Металлургия, 1979. - 408 с. - 35.00 р.
ББК 32.844.1
Рубрики: Электроника--микроэлектроника
Кл.слова (ненормированные):
Физико-химические основы технологии микроэлектроники -- эпитаксия -- техника электронная -- радиотехника -- микросхема -- объем памяти -- фотолитография -- автоэпитаксия кремния -- испарение -- травление -- процесс легирования



Соавторы:
Райнова, Ю.П.
Экз-ры: аб(1)

” Цитировать
Найти похожие
2.
32.844
Б 88

    Броудай, И.
    Физические основы микротехнологии. [Текст] / Пер. с англ. В.А. Володина, В.С. Першенкова ; / Под ред. А.В. Шальнова. - Новое изд. - М. : Мир, 1985. - 496 с. - ISBN 0 : 50 р.
ББК 32.844
Рубрики: Микроэлектроника
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- Физические основы микротехнологии -- ПУЧКИ ЧАСТИЦ -- ИСТОЧНИКИ ЭЛЕКТРОНОВ -- ИОНЫ -- ФОТОНЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ -- МИКРОСХЕМЫ -- ЭПИТАКСИЯ -- ОКИСЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНиЕ -- СУБМИКРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- МИКРОЗОНДЫ -- МИКРОСКОПЫ -- ЛАЗЕРНОЕ СКАНИРОВАНИЕ -- МЕТАЛЛ-ОКИСЕЛ-ПОЛУПрОВОДНИК



Соавторы:
Мерей, Дж.
Экз-ры:

” Цитировать
Найти похожие
 
Стандартный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)